OPUS3 FD12的目的是不僅處理框架晶圓,還處理半標準晶圓。具有對被切斷或重新組成的晶圓的特別排列算法,可以適用所有 Prober 的功能。
OPUS3 / SL 是全世界最小型的自動 Prober。 可以處理沒有更換工具包的6”、8”及12”半標準晶圓,還可以使用為更小佈局的平台的產品。為了支持更多設備,OPUS3提供較快的索引時間,還提供多種溫度選項。
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