蔚華科技 - Spirox - Seeking Smarter Solutions™

蔚華提供有效提升製造良率之檢驗、量測與製程設備予半導體產業

產品分類：


檢驗設備	量測設備
缺陷再檢測SEM系統暗視野晶圓檢測系統晶圓表面檢測系統	線幅量測系統晶圓厚度測量系統
製程設備
氣體流量控制器單一晶片式熱傳導式化學氣相沉積系統快速升溫回火系統雷射升溫回火系統雷射撥離系統光罩缺陷加速成長系統轉子/再磨光旋轉洗滌乾燥機乾燥真空泵低壓射頻電漿系統電漿筆