蔚華科技 - Spirox - Seeking Smarter Solutions™

蔚華提供有效提升製造良率之檢驗、量測與製程設備予半導體產業

產品分類：


檢驗設備	量測設備
明視野晶圓檢驗系統深紫外線光源晶圓檢驗系統缺陷再檢測SEM系統電子束檢驗系統	線幅量測系統廣域原子力量測系統晶圓厚度測量系統
製程設備
化學機械研磨機氣體流量控制器單一晶片式熱傳導式化學氣相沉積系統轉子/再磨光旋轉洗滌乾燥機乾燥真空泵