缺陷再檢測 SEM 系統
Hitachi RS-5500
Hitachi RS-5500 缺陷再檢測 SEM 檢測台基於 Hitachi 的 CD SEM 經驗在 65 奈米與甚至 45 奈米世代產品可提供受檢測缺陷的高速與高精確度 SEM 影像。

  • 同時能有 4 個影像補捉 ( 二次電子、左視與右視與電壓對比 )
  • ADC 缺陷分類系統
  • 透過 RI-1000 能有效取樣，減少檢測時間

銷售服務地區：台灣





暗視野晶圓檢測系統
Hitachi IS-3000
Hitachi IS-3000 系統具檢測已有圖案之晶圓表面上小於 40nm 的缺陷方面之能力，提供穩定高產能與高靈敏度檢測系統。

  • 簡易操作與設定
  • 速產能與高靈敏度檢驗
  • 缺陷即時檢測與分類能力

銷售服務地區：台灣





晶圓表面檢測系統
Hitachi LS-6800
Hitachi LS-6800 系統具檢測一般控片或無圖案之晶圓表面上小於 40nm 的缺陷方面之能力，提供穩定高產能與高靈敏度檢測系統。

  • 方向偵測器系統
  • 高速產能與高靈敏度檢驗
  • 具晶圓邊緣檢測能力

銷售服務地區: 台灣



 

缺陷再檢測SEM系統
暗視野晶圓檢測系統
晶圓表面檢測系統



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