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 線幅量測系統 Hitachi ZA-H200 在LCD面板製造過程中，Hitachi ZA-H200系統可自動測量金屬層及其他透明材料, 如ITO、Si等的各種不同圖案的線寬與重疊準確度。本系統是使用標準刻度尺校準的相對性量測方式系統。 
廣域原子力量測系統 Hitachi WA1300 廣域AFM可測定超廣區域之外形輪廓線，例如1-shot的步進距離觀察到Angstrom尺度距離觀察。從小區域 (100奈米平方區域) 到大區域 (25.6公釐平方區域) 的掃描區域。可觀察截面圖而不致損壞晶圓。CMOS影像感測器 (CCD) 的透鏡觀察。
晶圓厚度測量系統 Futo FT300 / FT3031 Futo FT300 / FT3031可測定4" 至12" 晶圓，FT300模型可將4"、5"、6"、8" 和12" 晶圓保持在方形工作平台。它使用不會損壞的傳導SUS鏡面模板製成。
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廣域原子力量測系統 晶圓厚度測量系統 
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