晶圓切割
Accretech A-WD-300TX
提供面對面雙刀300mm晶圓切割機,並加入新開發高轉速80,000rpm轉軸,X軸移動速度可達1000mm/每秒。比現有機台增加1.3倍生產力。
3個空氣加速清潔噴嘴,可減少清洗時間約1/2。
引擎清潔功能列為標準品,減少晶圓污染。
於晶圓傳輸手臂上增加機械式夾鉗,以防止於空氣供應不足時而產生晶圓掉落
銷售服務地區:台灣、大陸
Mahohdicing
Machine
世界第一台使用非接觸式方式對Wafer沒有產生直接破壞晶圓表面。這是利用Laser聚焦在Wafer的內層導致Si分子結構分層,而間接分離Chip達到沒有損害的品質。
針對薄片及易脆的晶圓在沒有物理性應力的破壞來進行切割。
產出速率唯一般傳統雷射的數倍之上。
完全乾燥製程處理,不需清洗的流程。
銷售服務地區:台灣、大陸
Accretech A-WD-200T
200mm面對面雙刀晶圓切割機,汽幅式X軸數完成無接觸之機械移動,可提高切割品質與減少震動。
X軸採用特性馬達,可減少震動已達製程的高品質。
觸碰式LCD面板,易於操作。
X軸移動為非接觸式,無須維修。
銷售服務地區:台灣、大陸
Accretech A-WD-250S
高品質、使用者易操作系統。
全自動生產數據管理。
全自動極小化機台尺寸。
高精度、高速度。
多功能設計,未來有可擴充性。
銷售服務地區:台灣、大陸
Accretech A-WD-110A
高品質、使用者易操作系統。
附有晶圓自動定位功能。
銷售服務地區:台灣、大陸
Accretech A-WD-100A
高品質、使用者易操作系統。
切割尺寸至240mm。
銷售服務地區:台灣、大陸
Accretech A-WD-10B
多功能切割機應用於小面積晶圓切割需求。
Z軸持用步進馬達,X軸與Y軸持用特性guide達成高精度高密度的線形技術。
同步控制X軸與Y軸,X軸最高速度450mm/秒,Y軸高速度80mm/秒,Z軸高速度40mm/秒等高速度進行切割。
銷售服務地區:台灣、大陸
晶圓研磨與拋光
Accretech PG 300 / PG 200
Accretech 創新獨一的研磨拋光機,將兩個製程整合而達成薄晶圓製程需求,應用於IC卡和3D堆疊封裝技術提供移除之整合解決方案。
完成晶圓整個粗磨,細磨,拋光及清洗於同一機台。
所有製程晶圓都在同一載台上。
機台尺寸極小化。
附有環保意識,製程中無使用化學商品。
銷售服務地區:台灣、大陸
Accretech PG 300RM / PG 200RM
Accretech 整合RM於PG300/PG200,增加貼合Dicing Tape與BG Tape移除功能,以提供薄晶圓製造完整解決方案。
完成晶圓整個粗磨,細磨,拋光及清洗於同一機台。
所有製程晶圓都在同一載台上。
機台尺寸極小化。
附有環保意識,製程中無使用化學商品。
銷售服務地區:台灣、大陸
晶圓切割
晶圓研磨與拋光
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