蔚華科技 - Spirox - Seeking Smarter Solutions™

橫切面 (X-Section)/電路修補
蔚華科技IC驗證中心在專屬物性實驗室(通過ISO9001：2000認證)以晶片聚焦離子束(Focus Ion Beam,簡稱FIB)去除或填補物質，以找出電路錯誤或製程相關問題。蔚華驗證工程師使用高精確度與成功率之FIB先進設備執行90奈米及以下製程之電路修補技術服務。

具GDS介面與W-Gas、Pt-Gas、I2-Gas及XeF2之FEI201 FIB
具GDS介面與C、W-Gas、XeF2、E-Gas及新的T-Gas之SMI2050 FIB
具GDS介面與各式氣體，適用銅製程、低k介電值、SOI、IC正面與背面電路修補
ISO9001:2000與IECQ認證
NEXS CAD導航疊圖軟體

物性實驗室
電性實驗室
化學實驗室
 可靠性實驗室

IC驗證中心
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Tel. +886-3-6669700