正式步入埃米時代！蔚華科技與衡陞科技宣佈推出埃米級尺度探針

半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技（TWSE: 3055）與世界級領先的奈米級金屬探針製造商MesoScope Technology 衡陞科技共同宣佈全新埃米維度尺度探針產品正式上市，埃米尺度探針及量測技術可用於解決新進製程發展阻礙，致力為半導體量測領域帶來全方位的解決方案。

隨著高速運算、神經網路、量子電腦、無人駕駛等科技產業需求快速攀升，發展低功耗、小尺寸、異質整合及超高運算速度的晶片架構技術，已成為全球半導體製造業者最重要的產業趨勢與決勝關鍵。在預見未來半導體的產品架構進化下，摩爾定律將得以維持，單位面積下的電晶體將持續成長，尺寸的不斷微縮也對探針提出了更高的要求。衡陞科技已成功利用M.S.T.技術去克服製造上的困難，成功將產品從奈米維度推向埃米維度，現已開發並正式量產高達14種不同尺寸的探針，可被廣泛應用於不同領域，從封裝的Pad量測到電晶體的特性量測，其最先進的CR1(Curvature Radius 1nm)探針可被應用于2奈米以下制程之故障分析使用。

相較於其他製造技術，衡陞科技透過M.S.T.技術，得以在不破壞材料組成結構下，穩定將探針針尖尺寸微縮到埃米等級，可提供探針更好的韌性，並可搭配全球領先的奈米探針品牌Kleindiek Nanotechnik，將奈米級電性量測與器件表徵技術可廣泛應用於各種複雜與高速器件的研發過程，以確保品質及可靠性，並縮減研發時間和器件製造工藝的成本，可滿足台灣晶片研發製造產生龐大的市場需求。

衡陞科技董事長黃信豪表示，合作一年多來，蔚華科技展現經營兩岸半導體業多年來累積的豐富產業資源及客戶關係，高可靠度的製程與品質保證解決方案及高彈性的客戶服務品質深受業界肯定。此次埃米尺度探針的研發是全球奈米探針領域的重大突破，衡陞科技一直致力於給半導體界帶來尖端的探針產品，相信通過與蔚華科技的強強合作，能夠持續為半導體量測市場提供更優質的解決方案。

蔚華電子科技（上海）總經理楊向群表示，衡陞科技在奈米探針和奈米量測具有世界級技術領先優勢，此次引進全球領先的埃米尺度探針，配合此前奈米探針品牌Kleindiek Nanotechnik以及衡陞科技的奈米探針量測服務，進一步優化了蔚華的產品線，提升了蔚華製程品質保證解決方案的完整性。蔚華科技堅信和衡陞科技的合作將可成為台灣半導體客戶在量測領域突破和水準提升的一大助力，更可滿足客戶對於先進製程晶片嚴苛的技術工藝與量測需求，勢必能為雙方及客戶創造三贏。

以下是兩隻CR5A站在5nm製程同一顆Contact上

以下是CR5A站在一組5nm製程的電晶體

關於衡陞科技奈米探針尺寸以及對應各製程分析需求

關於蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及產品，提供半導體各個製程與不同產品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作夥伴包括NI, Osai, SEMICS，AFORE, ERS, Hamamatsu, Intekplus, MesoScope, ShibaSoku, TASMIT, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業分工，提供半導體、電子製造、通訊及車用電子等科技產業高品質的整合解決方案。蔚華科技成立於1987年，總部位於臺灣新竹，於上海、合肥、蘇州、深圳、北京、成都皆有服務據點。更多資訊請瀏覽公司官網www.spirox.com。

關於衡陞科技

衡陞科技於2006年7月在臺北成立，是世界一流的金屬探針製造廠及半導體電性故障分析的解決方案提供者，並且有能力提供全球客戶最先進的奈米探針。衡陞科技致力於設計以及開發典型故障分析所需使用的探針以及相關產品。更多資訊請瀏覽公司官網www.mesoscope.com.tw。