MicroLED 检测系统

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【Southport】JadeML - MicroLED检测解决方案

【Southport】JadeML - MicroLED检测解决方案

晶圆级MicroLED晶粒非接触式巨量PL光谱及漏电检测系统

  • 巨量移转前MicroLED晶粒100%非接触式发光特性及漏电检测
  • 确保晶圆上做有效之晶粒分类分捡
  • 确保有效的晶粒移转
  • 大幅降低维修成本
 

【功能特色】

  • 非接触式晶圆阶段100% MicroLED晶粒扫描检测技术
  • 1 μm空间分辨率 - 100%巨量晶粒PL全光谱、PL强度检测、mapping及分类
  • 0.5 nm光谱分辨率 - 100%晶粒光谱mapping并提供包括PL强度、峰值、主波长以及半峰全宽等信息及晶粒分类
  • 晶圆上的光谱 mapping
  • MicroLED 晶粒检测尺寸最小至5 μm
  • 可100%对晶粒进行非接触式漏电检测和分选
 

【产品优势】

  • 当 MicroLED 晶粒数量以数量级增加时,只有透过非接触式检测技术才有可能实现在晶圆阶段 100% 的晶粒检测
  • 高空间分辨率和高波长分辨率可快速准确地反映晶粒的各种性能,以做有效的分析及分类
  • 提供每个 MicroLED 晶粒的PL、光谱、主波长和漏电特性
  • 漏电的晶粒在巨量移转之前被检出,可避免无效的移转和高昂的晶粒移除或修复成本
 

【产品价值】

  • 当MicroLED晶粒越来越小时,非接触式检测技术可有效避免接触式探针技术可能对晶粒造成的损伤
  • 晶圆阶段100%晶粒检测大幅节省检测时间和成本,也无需因不同检测项目而转换至其他平台
  • 巨量移转前晶圆阶段即可对晶粒做有效分类和筛选
  • 避免无效及浪费的巨量移转,大幅降低昂贵的晶粒去除或修复成本
  • 有助于做持续之制程改善

 

【介绍视频】

 

【产品规格】

Model Number
ML7000
Model Name
JadeML
R, G, B MicroLED Chip
on Wafer
2" 4" 6"
Inspection Items
Whole Wafer PL Scan
PL Intensity
PL Wavelength
PL FWHM
PL Dominant Wavelength
Non-contact Whole Wafer Leakage Chip Detection
Spatial Resolution
Standard Mode
(MicroLED Chip > 20 µm)
2 µm / pixel
High Resolution Mode
(MicroLED Chip 5 - 20 µm)
1 µm / pixel
Spectral Resolution
1 nm
Measurement Time
(@4” Wafer)
Standard Mode
PL Scan:7.5 mins
Leakage Detection:15 mins
High Resolution Mode
PL Scan:30 mins
Leakage Detection:60 mins
 
 

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