凸块制程

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【STI】晶圆级甲酸回焊炉

【STI】晶圆级甲酸回焊炉

STI SRS30V 为半导体封装过程中利用热量形成凸点和倒装芯片的设备。

 

【产品优势】

  • 节省氮气使用成本
  • 解决锡球二次氧化
  • 解决锡球内部孔洞及溅锡问题
  • 减少Particle 产生,延长维保周期
  • 高良率及高产出率
 

【功能特色】

  • 全制程真空腔体中运行
  • 具含氧量控知模块
  • 框架式晶圆移动平台
  • 上下双区温控热源
  • 晶圆高度可调整
  • 8/12寸自动切换,无需更换治具 (可支持至4寸晶圆)

 

 

STI 是总部位于韩国的面板及半导体设备制造公司,其产品包含中央化学供酸系统、湿制程设备、OLED喷墨打印机、Foup清洗机和应用于半导体晶圆级封装(Wafer Level Package)制程的真空回焊设备, 湿式喷砂机, 以及面板级封装(Panel Level Package)制程用湿制程设备等产品。STi成立20年来, 产品深获客户信赖, 客户遍及台湾、中国、 韩国、日本、东南亚以及其它欧美系客户。