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非破坏性SiC缺陷检测系统
JadeSiC-NK是一款专为SiC衬底设计的非破坏性缺陷检测系统，为传统的KOH蚀刻检测提供一个高效的替代方案。此系统首创非破坏性缺陷扫描检测技术，能直接呈现衬底内的致命性晶体缺陷分布，从而有效掌控衬底质量并显著降低直接及间接成本。
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