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半导体测试系统(STS)
STS是一款既有ATE解决方案,适用于射频(RF)、混合式信号及微机电(MEMS)半导体装置,不仅可缩短产品上市时间又可降低测试成本。STS可用于量产测试单元,支持机械臂、分选机与晶圆探针台,并具备标准弹簧探针配置,可支援高度转移的测试程序及测试负载板。
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