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全自动FOWLP热拆键合机
ERS ADM330系统是一款用于热拆键合的扇出型晶圆级封装技术(FOWLP)。
▪︎ 独特的温度卡盘设计允许强大的真空吸附能力
▪︎ 符合GEM300标准,针对工业4.0
可选附加功能:
▪︎ 通过双面晶圆ID标记选项,提高晶圆的可追溯性
▪︎ 独立的晶圆ID激光打标功能
▪︎ 独特的温度卡盘设计允许强大的真空吸附能力
▪︎ 符合GEM300标准,针对工业4.0
可选附加功能:
▪︎ 通过双面晶圆ID标记选项,提高晶圆的可追溯性
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