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激光扫描共焦量测开发平台
SP8000A是光学量测方案的开发平台,内建光学显微镜,使用激光扫描式共焦技术。本平台可依据产品量测需求,自行加载多种光学配件及模块,以进行多样化的研究及量测,进而提高研发设备的弹性,降低研发阶段的机台购置成本,并缩短研发时间。
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