MicroLED 檢測系統

HOME / 解決方案與服務 / 晶片測試解決方案 / MicroLED 檢測系統

【Southport】JadeML - MicroLED檢測解決方案

【Southport】JadeML - MicroLED檢測解決方案

晶圓級MicroLED晶粒非接觸式巨量PL光譜及漏電檢測系統

  • 巨量移轉前MicroLED晶粒100%非接觸式發光特性及漏電檢測
  • 確保晶圓上做有效之晶粒分類分撿
  • 確保有效的晶粒移轉
  • 大幅降低維修成本
 

【功能特色】

  • 非接觸式晶圓階段100% MicroLED晶粒掃描檢測技術
  • 1 μm空間解析度 - 100%巨量晶粒PL全光譜、PL強度檢測、mapping及分類
  • 0.5 nm光譜解析度 - 100%晶粒光譜mapping並提供包括PL強度、峰值、主波長以及半峰全寬等資訊及晶粒分類
  • 晶圓上的光譜 mapping
  • MicroLED 晶粒檢測尺寸最小至5 μm
  • 可100%對晶粒進行非接觸式漏電檢測和分選
 

【產品優勢】

  • 當 MicroLED 晶粒數量以數量級增加時,只有透過非接觸式檢測技術才有可能實現在晶圓階段 100% 的晶粒檢測
  • 高空間解析度和高波長解析度可快速準確地反映晶粒的各種性能,以做有效的分析及分類
  • 提供每個 MicroLED 晶粒的PL、光譜、主波長和漏電特性
  • 漏電的晶粒在巨量移轉之前被檢出,可避免無效的移轉和高昂的晶粒移除或修復成本
 

【產品價值】

  • 當MicroLED晶粒越來越小時,非接觸式檢測技術可有效避免接觸式探針技術可能對晶粒造成的損傷
  • 晶圓階段100%晶粒檢測大幅節省檢測時間和成本,也無需因不同檢測項目而轉換至其他平台
  • 巨量移轉前晶圓階段即可對晶粒做有效分類和篩選
  • 避免無效及浪費的巨量移轉,大幅降低昂貴的晶粒去除或修復成本
  • 有助於做持續之製程改善

 

【介紹影片】

 

【產品規格】

Model Number
ML7000
Model Name
JadeML
R, G, B MicroLED Chip
on Wafer
2" 4" 6"
Inspection Items
Whole Wafer PL Scan
PL Intensity
PL Wavelength
PL FWHM
PL Dominant Wavelength
Non-contact Whole Wafer Leakage Chip Detection
Spatial Resolution
Standard Mode
(MicroLED Chip > 20 µm)
2 µm / pixel
High Resolution Mode
(MicroLED Chip 5 - 20 µm)
1 µm / pixel
Spectral Resolution
1 nm
Measurement Time
(@4” Wafer)
Standard Mode
PL Scan:7.5 mins
Leakage Detection:15 mins
High Resolution Mode
PL Scan:30 mins
Leakage Detection:60 mins
 
 

南方科技成立於2014年8月,創辦團隊集合了光學、材料、物理、資訊等跨領域人才,將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模組化、數位化的核心理念,使研究人員專注在研究開發工作,改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發時程、揮灑研發創意,加速研究與產業技術發展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數位光學』兩大核心技術為基礎,將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫影像、顯微3D光學檢測與數位光學應用四大應用領域。在不同的應用領域,南方致力於研發與創新,深入瞭解行業痛點並且專注解決關鍵問題。