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Non-Destructive Inspection System for SiC Crystal Killer-Defects
JadeSiC-NK is a non-destructive inspection system specifically designed for SiC substrates, providing an efficient alternative to KOH etching method. This system pioneers non-destructive defect inspection, directly providing insight to SiC substrates wafer mapping for killer defects distribution, thereby effectively monitoring the quality of SiC substrates and significantly reducing costs.
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