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非破壞性SiC缺陷檢測系統
JadeSiC-NK是一款專為SiC基板設計的非破壞性缺陷檢測系統,為傳統的KOH蝕刻檢測提供一個高效的替代方案。此系統首創非破壞性缺陷掃描檢測技術,能直接呈現基板內的致命性晶體缺陷分佈,從而有效掌控基板品質並顯著降低直接及間接成本。
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