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雷射掃描共焦量測開發平台
SP8000A是光學量測方案的開發平台,內建光學顯微鏡,使用雷射掃描式共焦技術。本平台可依據產品量測需求,自行加載多種光學配件及模組,以進行多樣化的研究及量測,進而提高研發設備的彈性,降低研發階段的機台購置成本,並縮短研發時間。
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